20251223 纳米氧化铪行业要闻

1. 技术突破：无卤素室温原子级刻蚀技术落地 半导体制造迈向绿色精密

搜狐网 12 月 23 日行业快讯：日本名古屋大学与台湾明志科技大学联合团队研发的无卤素氧化铪薄膜刻蚀技术，实现室温下原子级精密加工突破。该技术通过 N₂等离子体氮化与 O₂等离子体氧化的循环工艺，无需卤素气体即可完成刻蚀，每周期刻蚀深度控制在 0.023-0.107 纳米，20 个周期后表面粗糙度降低 60%。其形成的挥发性副产物无残留，能耗较传统工艺降低 40%，已通过《Small Science》期刊认证，适配 3 纳米以下半导体器件栅极绝缘体加工，为绿色半导体制造提供新路径。(来源：搜狐网、Electronics For You，12 月 23 日整合发布)

2. 企业动态：三祥新材 5N5 级氧化铪完成头部半导体企业多批次送样

韭研公社 12 月 22 日产业更新：三祥新材已完成国内头部存储芯片企业的第三批次氧化铪送样，产品纯度达 5N5 级（99.9995%），杂质含量低于 3ppm，完全满足半导体前驱体材料要求。公司采用全球唯一的盐酸体系锆铪分离技术，40 级萃取即可实现连续量产，成本较进口产品降低 40%。首年副产氧化铪 50-70 吨，优先匹配核级锆配套需求，2026 年二季度投产后将实现高纯氯化铪供应，加速半导体领域国产替代。(来源：韭研公社、东方财富网，12 月 22-23 日动态)

3. 国际合作：德台联合开发氧化铪基 FeFET 能耗较传统存储降低 100 倍

Electronics Weekly 12 月 23 日报道：德国 Fraunhofer 研究院与台湾 TSRI 研究院达成深度合作，联合开发基于氧化铪的铁电场效应晶体管（FeFET）。该器件采用氧化铪薄膜作为核心功能层，兼容 300 毫米晶圆制程，可实现 “内存内计算”， latency 降低 50%，嵌入式应用能耗较现有非易失性存储减少 100 倍。双方计划搭建专用研发产线，覆盖消费电子、汽车电子及医疗设备领域，推动铪基存储技术规模化应用。(来源：Electronics Weekly，12 月 23 日首发)

4. 专利创新：荣芯半导体氧化铪复合钝化层专利落地 提升器件稳定性

国家知识产权局 12 月 23 日公示：荣芯半导体（宁波）有限公司的 “氧化铪基钝化层结构” 专利正式进入实质审查阶段。该结构采用 “氧化铪层 - 氧化铪 / 石墨烯量子点复合层 - 石墨烯量子点层 - 氟化非晶碳层” 四层堆叠设计，界面缺陷密度降低至 1.2×10¹¹ cm⁻²，机械稳定性提升 3 倍，可有效延长半导体器件使用寿命。专利技术已完成实验室验证，计划 2026 年应用于先进制程芯片制造。(来源：国家知识产权局、搜狐网，12 月 23 日公示解读)

5. 下游应用：氧化铪基铁电存储获 AI 芯片厂商青睐 适配边缘计算场景

行业内参 12 月 23 日披露：基于氧化铪的铁电存储器（FeRAM）已成为 AI 处理器核心存储方案，其非易失性、低功耗特性完美适配边缘计算节点需求。德国 Fraunhofer IPMS 与美国 NY Creates 联合开发的铪基 FeRAM，存储容量已从传统 4-8MB 提升至 Gb 级，兼容 CMOS 工艺，被微软、英伟达纳入下一代 AI 芯片供应链。随着 HBM 堆叠技术普及，氧化铪作为关键绝缘材料，需求将年增 35% 以上。(来源：邮电设计技术、行业内参，12 月 23 日)

6. 产能规划：三峡公司铪分离项目进入设备调试 2026 年二季度投产

东方财富网 12 月 22 日公告解读：三峡公司旗下铪分离项目已完成主体设备安装，进入调试阶段，预计 2026 年二季度正式投产。项目采用先进萃取工艺，年产氧化铪规模达 30 吨，产品纯度覆盖 4N-5N 级，可满足核电控制棒、半导体材料等多领域需求。作为战略性金属分离项目，其投产将进一步提升国内铪资源自主保障能力，缓解高端氧化铪供应紧张局面。(来源：东方财富网、韭研公社，12 月 22 日)

7. 政策协同：化妆品原料创新政策落地 纳米氧化铪高端应用获支持

国家药监局政策解读 12 月 23 日发布：《支持化妆品原料创新若干规定》的实施，为纳米氧化铪在高端化妆品领域的应用提供政策支撑。新规优化纳米新原料安全评价要求，减免部分长期人体试用试验，缩短注册备案周期。纳米氧化铪因高稳定性和生物相容性，有望用于防晒、抗皱类化妆品配方，目前已有 3 家企业启动相关原料研发备案。(来源：国家药监局、正智远东咨询，12 月 23 日政策解读)

8. 市场行情：高端氧化铪价格持续上涨 半导体级品类供需紧张

2025 年 12 月 23 日市场报价显示：

5N5 级（99.9995%）半导体前驱体级氧化铪：11000-12000 元 / 千克，较上周上涨 5.6%，头部芯片企业备货需求旺盛

5N 级（99.999%）核工业级氧化铪：10800-11500 元 / 千克，价格坚挺，三峡项目投产预期带动囤货

4N 级（99.99%）工业级氧化铪：6000 元 / 千克，供应稳定，基础工业需求平稳

光学级氧化铪（4N5 级）：9500-9800 元 / 千克，较昨日上涨 2.1%，光学镀膜领域采购增加 (来源：ChemicalBook、行业内参报价，12 月 23 日)