中文名 氧化铪
英文名 Hafnium Oxide, Hafnia
化学式 HfO₂
CAS号 12055-23-1
EC号 235-042-5
| 中文名称 | 氧化铪 |
| 英文名称 | Hafnium Oxide, Hafnia |
| 化学式 | HfO₂ |
| 分子量 | 210.49 g/mol |
| 外貌 | 白色、无定形粉末（常温下） |
| 熔点 | 约 2758 °C （约 3031 K） |
| 沸点 | 约 5400 °C （约 5673 K） |
| 密度 | 9.68 g/cm³ （单斜晶系，20°C） |
| 精确质量 | 211.894951 g/mol |
| 单同位素质量 | 211.894951 g/mol |
应用领域
1.高端半导体器件中的高κ栅极介电材料。用于替代传统的二氧化硅，是45纳米及以下技术节点芯片制造的核心材料之一。
2.高性能的热障涂层材料。用于航空发动机和燃气轮机的涡轮叶片表面。
3.光学薄膜和防护涂层。用于制作高功率激光器的反射镜、抗反射膜以及耐高温、耐腐蚀的防护涂层，
4.高密度动态随机存取存储器的电容材料。在极其有限的空间内制造出能满足电荷存储要求的电容器单元。
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